集成电路制造工艺

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主讲老师:牟洪江 谢亚伟 张海磊 

分类:电子信息

课程可见性:公共

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       简介

    本课程可作为高职高专微电子及电子信息类专业的教学使用也可作为有关技术人员学习集成电路制造工艺的参考 本课程介绍了集成电路的基本概念和背景知识系统介绍了半导体材料硅平面工艺流程封装测试等内容力求通俗易懂突出实用性和可操作性重点放在基本概念和基本方法的讲解上并配有大量图片同时针对初学者易出现的问题进行重点讲解

       目录
    集成电路概述
    半导体材料制备
    集成电路制造工艺概况
    集成电路的沾污控制
    氧化工艺
    化学气相淀积
    光刻工艺
    刻蚀工艺
    杂质分布影响
    掺杂工艺
    金属化工艺
    平坦化工艺
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吕坤颐
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牟洪江
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